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基于盆架状定子的压电平面运动装置制造方法及图纸
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下载基于盆架状定子的压电平面运动装置的技术资料
文档序号:24282430
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本实用新型公开了一种利用盆架状定子驱动的精密压电平面运动装置,所述压电平面运动装置由定子组件,滑台组件,机座组件组成,其滑台组件连接定子组件并且构成两向运动的移动副,定子组件连接机座组件,滑台组件连接机座组件并且构成两向运动的滚‑滑式运动副...
该专利属于南昌航空大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌航空大学授权不得商用。
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