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本实用新型涉及半导体制造设备的储存装置领域，公开了一种半导体制造设备的储存装置，针对现有技术中的半导体制造设备用储存装置的散热功能和防尘功能不能很好的兼容的问题，现提出如下方案，其包括底板、顶板、储存硬盘和备份硬盘，所述底板和顶板均为L型结...
该专利属于襄阳斯迈克电气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过襄阳斯迈克电气有限公司授权不得商用。

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