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一种阻抗测试装置，包括：样品台，用于放置被测样品；固定机构，所述固定机构固定在所述样品台上；探针固定座，所述探针固定座设置在所述固定机构上；探针组件，包括至少两个探针套管以及装设于所述探针套管内的探针，所述探针套管固定于所述探针固定座上。所...
该专利属于上海仪电显示材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海仪电显示材料有限公司授权不得商用。

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