温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种在对规定形状的定形片体粘贴树脂膜的RTP系统中，减少作为粘贴的结果而得到的定形片体层叠体的翘曲的树脂膜粘贴用的系统以及方法。树脂膜粘贴系统使用由长条带状的载体膜和经由粘合剂层层叠在所述载体膜上的规定宽度方向尺寸的树脂膜构成的树...
该专利属于日东电工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日东电工株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。