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本发明实施例提供一种垂直腔面发射激光器及其制造方法。垂直腔面发射激光器包括：N‑DBR，所述N‑DBR设置在衬底上方并且包括层叠设置的第一分布布拉格反射镜；有源层，所述有源层设置在所述N‑DBR上并且包括层叠设置的量子阱结构；P‑DBR，所...
该专利属于太平洋(聊城)光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过太平洋(聊城)光电科技有限公司授权不得商用。

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