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本发明提供了检测设备的图像校准方法和装置，包括：获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标；获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；当横向电机驱动CCD水平移动第一预设距离时，根据横向电机的实际初始位置坐标、横向电机水平移动...该专利属于北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)授权不得商用。