下载一种气体传感器标定装置的技术资料

文档序号:24250527

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本发明公开了一种气体传感器标定装置,包括主控板、至少二个质量流量控制器、气体混合腔、标定气室、气体检测传感器、流量计、压力计和气泵,所述质量流量控制器、气体混合腔、标定气室、气体检测传感器、流量计和气泵通过气路管道依次连通,所述标定气室内设...
该专利属于上海虬祺传感器科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海虬祺传感器科技有限公司授权不得商用。

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