下载固体红外真空吸附表征系统的技术资料

文档序号:24250344

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本发明公开了一种固体红外真空吸附表征系统,包括补气模块、真空模块和原位池模块;所述补气模块包括气体罐和液体罐;所述真空模块包括真空机械泵、分子涡轮泵和复合真空规;所述原位池模块包括原位池和可拆卸管道;本发明提供的原位池与真空模块出口仅需要通...
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