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本发明涉及一种沉浸式金刚线切割晶硅及冷却润滑的方法，属于晶硅加工领域，金刚线沉浸在切削液中切割晶硅，切削液进入切割区，对切割区进行冷却和润滑，切削液浸满沉浸槽，金刚线贯穿沉浸槽并沉浸在切削液中对晶硅进行切割，切削液带入切割区，切割区带出的切...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。

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