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本发明公开了一种在透明材料表面和内部制备镂空结构的方法，属于飞秒激光微纳加工技术领域，本发明通过精确的控制偏振和加工功率，使用飞秒激光直写方式在透明材料内部直写精度为百纳米的改性区域，随后使用机械/离子束减薄的方式将透明材料的表面减薄至加工...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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