温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种带有电偏转的金刚石膜制备装置。本实用新型解决了采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时制备质量和速度受限的问题。一种带有电偏转的金刚石膜制备装置，包括圆筒形反应室、外层水管、圆饼形载台、内层水管...
该专利属于郝昕曈所有，仅供学习研究参考，未经过郝昕曈授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。