下载研磨仪的技术资料

文档序号:24224165

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本申请涉及一种研磨仪。本申请实施例提供一种研磨仪。所述研磨仪包括基座、驱动装置和防溅盖。所述驱动装置设置于所述基座。所述驱动装置具有输出轴。所述输出轴设置有研磨件。所述防溅盖设置于所述驱动装置或所述研磨件。所述输出轴带动所述研磨件上下在所述...
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