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一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置制造方法及图纸
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下载一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置的技术资料
文档序号:24222877
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一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置,主要结构由键合基板、微陀螺结构、磁阻基板三部分组成,其中键合基板设置于微陀螺结构下方,微陀螺结构上表面中心位置设置有蛇形通电线圈,磁阻基板设置于微陀螺结构上方,其中心设置有隧道磁阻元件,隧道磁阻元件...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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