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本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；压电复合振动层，形成在所述空腔的正上方；连接件，形成在所述衬底上方并且连接所述衬底和所述压电复合振动层。本申请的MEMS结构通过连接件实现了衬底和压电复合振动层的弹性接合，获得了较低的谐振...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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