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本发明公开了MEMS扬声器及其制造方法，其中，MEMS扬声器包括基底、振动组件、隔膜以及连接杆，基底包括基座和自基座一侧延伸的支撑座，基座沿其厚度方向贯穿设有第一腔体，支撑座呈环形并围合形成与第一腔体连通的第二腔体，第一腔体沿垂直于厚度方向...
该专利属于瑞声科技(南京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技(南京)有限公司授权不得商用。

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