下载连接结构改进的微机电麦克风及其制备方法的技术资料

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连接结构改进的微机电麦克风,涉及微机电麦克风技术领域,包括一基板,一盖设于基板上与基板形成声学腔体的盖体,声学腔体中的基板上设置:一声学换能器,设置于基板的第一区域;一集成电路芯片,集成电路芯片包括第一焊垫和第二焊垫,第一焊垫与声学换能器引...
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