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本发明公开了一种基于高斯过程和卷积神经网络的多阶段半导体过程虚拟计量方法，包括以下步骤：(1)对待检测的控制过程，采集与待检测变量相关的过程变量传感器的输出信号；(2)对采集的过程变量的信号数据进行预处理，去除异常值；(3)对预处理后的数据...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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