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一种基于单向电同步的超谐同步谐振式加速度计制造技术
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下载一种基于单向电同步的超谐同步谐振式加速度计的技术资料
文档序号:24203067
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本发明公开了一种基于单向电同步的超谐同步谐振式加速度计,MEMS谐振式加速度计的两个谐振传感模块对称设置在质量块模块的两侧,分别通过杠杆机构模块与质量块模块连接,MEMS谐振式加速度计将振动信号以电信号的形式引入至外部高频振荡器中并形成超谐...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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