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本实用新型提供半导体单晶炉阀板吹气结构，包括一体式阀体以及可在阀体内转动的阀板，阀板的一侧为阀板轴，阀板轴的右端伸出阀体，阀板轴的右端与导入氩气的氩气进气座可拆卸连接，阀体的外壁上还安装有驱动阀板轴旋转的旋转驱动机构，旋转驱动机构驱动连接氩...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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