下载用于样品的缺陷检查系统和用于样品的缺陷检查方法的技术资料

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提供了用于样品的缺陷检查系统和用于样品的缺陷检查方法。用于样品的所述缺陷检查系统包括图像传感器和缺陷检查装置。图像传感器被配置为捕获样品的目标图像,其中,样品包括平坦部分和从平坦部分沿第一方向延伸并且具有曲率的弯曲部分。目标图像包括与样品的...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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