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本发明公开了一种外延生长设备的反应室结构，包括：石英管、感应加热装置、反应腔室组件、分气组件、抽气组件，所述石英管为两端设有开口的圆形筒体结构，所述石英管的上部中间位置垂直设有第一圆筒，所述感应加热装置活动设置在所述石英管的外部，两个所述反...
该专利属于深圳市纳设智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市纳设智能装备有限公司授权不得商用。

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