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本发明涉及封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用,瓶体内设置有烧结片,将内腔分隔为上腔以及下腔,上腔的容积大于下腔的容积;瓶体顶部具有加料口,加料口与上腔连通;进气管进入到上腔与其连通,其进气口具有用于对载气气流导向的气流导向结构;出气管...该专利属于江苏南大光电材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏南大光电材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及封装固体高纯金属有机化合物的容器及其应用,瓶体内设置有烧结片,将内腔分隔为上腔以及下腔,上腔的容积大于下腔的容积;瓶体顶部具有加料口,加料口与上腔连通;进气管进入到上腔与其连通,其进气口具有用于对载气气流导向的气流导向结构;出气管...