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本发明提供一种MEMS器件及其制造方法，MEMS器件包括：具有背腔的基板；位于基板上方的振动电极，所述振动电极包括支撑部和位于支撑部之间的振动部；位于振动电极上方的上电极板；位于支撑部与上电极板之间的悬梁部，悬梁部连接所述支撑部上表面以及上...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。