下载双轨大幅面高速触摸屏激光刻蚀系统及方法的技术资料

文档序号:24188250

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本发明涉及激光刻蚀领域,具体为双轨大幅面高速触摸屏激光刻蚀设备,其结构包括支撑其他装置的底部机架、设置于机架上待加工的工件、设置于工件两侧用于取放工件的吸附装置,所述机架上设置有两组用于工件刻蚀加工的激光刻蚀系统,所述激光刻蚀系统为双轨道结...
该专利属于苏州天弘激光股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州天弘激光股份有限公司授权不得商用。

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