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本发明公开了一种制备任意截面聚合物波导的方法，属于集成光学芯片波导技术领域，利用飞秒激光和紫外光源对波导壳体和内芯进行分步曝光，实现对具有复杂截面的微米级别波导的加工。在分步曝光中，先利用飞秒激光直写扫描波导结构表层，通过显影便可实现对波导...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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