下载挥发性气体自动净化实验台的技术资料

文档序号:24186774

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本发明公开了一种挥发性气体自动净化实验台,包括实验台主体及低温等离子体净化系统,所述低温等离子体净化系统包括裂变炉及能源极,所述裂变炉内形成裂变腔,所述能源极设置于所述裂变腔内,所述裂变炉设有进气口与排气口,所述进气口与所述实验台主体的内部...
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