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基于光子干涉仪的传感制造技术
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下载基于光子干涉仪的传感的技术资料
文档序号:24178923
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公开了一种用于表征样品中的感兴趣的分析物的传感系统。它包括带有集成干涉仪的光子集成电路。所述集成干涉仪被配置用于光谱操作。所述集成干涉仪包括至少传感臂和参考臂,所述传感臂和所述参考臂都具有可用于与所述样品相互作用的可暴露区段,由此所述参考臂...
该专利属于安特露彼DX公司所有,仅供学习研究参考,未经过安特露彼DX公司授权不得商用。
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