下载具有集成的温度感测的红外探测器组件、气体测量装置和方法的技术资料

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一种制作具有集成的温度感测的红外探测器组件(10)的方法包括:在衬底(16)上形成至少一个IR敏感元件(12、14),以及在所述衬底上形成用于(a)IR敏感元件和(b)至少一个热敏电阻器(34)的传导性电极衬垫(22、24、26、28、30...
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