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本实用新型公开了一种真空反应室用压力检测机构，包括表盘外壳和固定接头管，所述固定接头管安装固定在表盘外壳的下端中间位置上，所述表盘外壳和固定接头管连接处设置有六角螺母，所述表盘外壳的前端中间设置有弧形遮挡块，所述弧形遮挡块包括弧形前块、阻挡...
该专利属于苏州子山半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州子山半导体科技有限公司授权不得商用。

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