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本实用新型提供了一种显微热分布测试设备，该显微热分布测试设备包括测试柜，所述测试柜内设置有三轴机械臂和二轴旋转支撑平台，所述三轴机械臂设置在所述二轴旋转支撑平台上方；所述三轴机械臂工作末端上设置有工位切换件，所述工位切换件上设置有显微相机模...
该专利属于广东金鉴实验室科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东金鉴实验室科技有限公司授权不得商用。

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