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一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车制造技术
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下载一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车的技术资料
文档序号:24169200
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本实用新型提供了一种玻璃磁控溅射镀膜生产线用靶材更换小车,包括车架,车架下端固定有若干万向轮,车架上端分别固定有第一支架和第二支架,第一支架的上端固定安装有摆线针轮减速机和旋转阻尼缸;旋转阻尼缸包括壳体和第一转轴,第一转轴转动连接于壳体上,...
该专利属于咸宁南玻节能玻璃有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过咸宁南玻节能玻璃有限公司授权不得商用。
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