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本实用新型涉及圆柱旋转磁控溅射阴极，公开了一种高靶材转化率的圆柱旋转磁控溅射阴极，其核心是阴极磁棒，其包括柱形的中空靶材(1)，靶材(1)的内部设有磁路模块，磁路模块包括磁轭(2)和磁钢组(3)，磁钢组(3)由三道呈一定角度的磁钢(4)组成...
该专利属于杭州朗为科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州朗为科技有限公司授权不得商用。

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