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本发明提供一种光波导微流体检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；微流体芯片包括：光波导和微流道，光波导用以将光沿水平方向导入微流道内；还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、上包层和流道盖板，波导层是氮化硅材料，波导...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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