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本实用新型公开了一种单品硅热场坩埚用组合式安装防护设备，包括柜体，所述柜体内设有空腔，所述空腔内的底部设有放置槽，所述放置槽内的底部设有橡胶垫，所述空腔的一端侧壁上设有第一开口，所述柜体的一端侧壁上固定有两个限位板，且两个限位板位于第一开口...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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