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本发明提供了一种可同时检测湿度、温度和流量的多功能气体传感器及其制备方法。本发明在单层传感器芯片两侧分别制备氧化石墨烯湿度传感器和微型加热器，并将微型加热器用于温度、流量检测。传感器针对湿度检测在室温下具有超高的灵敏度，快速的响应时间，宽广...
该专利属于广州钰芯传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州钰芯传感科技有限公司授权不得商用。

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