下载一种粗糙度测量装置及方法的技术资料

文档序号:24164139

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本发明公开了一种粗糙度测量装置及方法,其中装置包括载物台、施压模块、第一移动模块和数据处理模块,通过施压模块使粗糙度传感器以恒定压力与待测物接触,通过第一移动模块使粗糙度传感器以恒定速度沿第一方向往复运动,通过数据处理模块拟合粗糙度传感器在...
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