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本申请涉及一种靶材旋转结构，包括：靶材安装座以及传动机构；所述靶材安装座用于安装靶材；所述传动机构带动所述旋转轴转动以转动靶材；所述靶材安装座通过旋转轴与所述传动机构连接，所述旋转轴内设有冷却水路，以对所述靶材进行冷却。上述靶材旋转结构、靶...
该专利属于中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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