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一种基板烘烤设备，包含机台本体、多个上冲孔板、过滤装置、移载装置及进气加热系统。机台本体界定出烘烤空间、过滤空间及上维修口，并具有两个分别位于烘烤空间两侧的上侧架。每个上侧架的第一承载壁具有第一安装部及位于第一安装部相对内侧的第一承载部。上...
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