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碳纳米管薄膜晶体管底板的制造及其显示集成制造技术
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文档序号:24133973
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提供了用于生产单壁碳纳米管(SWCNT)并将其集成到现有TFT底板制造线中的方法。与LTPS和氧化物TFT底板相比,SWCNT TFT底板表现出等同或较好的品质因数,诸如高场发射迁移率、低温制造、良好稳定性、均匀性、可扩展性、柔性、透明性、...
该专利属于碳纳米管技术有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过碳纳米管技术有限责任公司授权不得商用。
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