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本发明公开的一种提高真空镀膜气氛均匀性的辉光区气路布置方法以及气路装置，根据镀膜真空腔体结构和辉光区的长度，将辉光区等分为1‑20段子供气区域，对每个子供气区域分别进行独立的供气，将辉光区两端延伸出200‑500mm的区域作为辅供气区域，对...
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