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本发明提供一种光波导微流体芯片，包括：光波导和微流道，所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内：还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层和上包层，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光波导；所述微流道由上而下贯穿所述上包...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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