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一种基于光栅和MEMS反射镜的宽调谐外腔半导体激光器腔型，半导体激光芯片发出的发散光束经准直器准直后，准直光束被MEMS反射镜反射至光栅发生衍射，选取合适的光栅入射角，使特定波长光束的某非零级次衍射角等于入射角，即该波长光束被光栅选中能够沿...该专利属于北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司授权不得商用。