下载一种提高氮化物LED电流扩展能力的外延生长方法的技术资料

文档序号:24099491

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种提高氮化物LED电流扩展能力的外延生长方法,包括生长石墨烯层的过程,具体是:步骤1、处理衬底;步骤2、在衬底上生长低温氮化物缓冲层以及在低温氮化物缓冲层上形成不规则小岛,所述低温氮化物缓冲层包括氮化镓、氮化铝或氮化铝镓中的至...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。