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本发明提出了一种IGBT器件,其包括:从下至上依次设置的集电极金属层、P+区、N′区以及N‑区,N‑区的顶部形成有台阶型的沟槽,沟槽的不同台阶上形成有沟槽栅和平面栅。使用本发明的优点在于,相比于单一结构的沟槽型IGBT器件,本器件结合了沟槽...该专利属于株洲中车时代电气股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过株洲中车时代电气股份有限公司授权不得商用。
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本发明提出了一种IGBT器件,其包括:从下至上依次设置的集电极金属层、P+区、N′区以及N‑区,N‑区的顶部形成有台阶型的沟槽,沟槽的不同台阶上形成有沟槽栅和平面栅。使用本发明的优点在于,相比于单一结构的沟槽型IGBT器件,本器件结合了沟槽...