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基于自燃烧法的双元高介电常数绝缘层的制备方法技术
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下载基于自燃烧法的双元高介电常数绝缘层的制备方法的技术资料
文档序号:24098491
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本发明公开了一种基于自燃烧法的双元高介电常数绝缘层的制备方法,包括:在衬底上旋涂双元高介电常数绝缘层前驱体源,前驱体源为硝酸盐或氯化盐与乙酰丙酮盐的2‑巯基乙醇、乙醇或水溶液;在空气中进行预退火处理,退火时间为10‑60min,退火温度为8...
该专利属于西交利物浦大学所有,仅供学习研究参考,未经过西交利物浦大学授权不得商用。
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