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本发明涉及一种扫描电子显微镜工作距离测量及预警装置。本发明包括：物镜极靴(1)；样品台（2）；距离传感器（3）；报警器(4)；摄像头（5）。本发明适用于扫描电子显微镜的工作距离监控，当样品台距物镜极靴距离过近时，距离传感器会及时报警并阻断当...
该专利属于河南河大科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南河大科技发展有限公司授权不得商用。

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