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多功能器件和多功能器件的制作方法技术
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文档序号:24098099
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本申请涉及一种多功能器件和多功能器件的制作方法,所述第一复合层包括致动区和电容区。所述第一复合层和所述基底的热膨胀系数不同,因此在所述致动区,所述第一复合层和所述基底在受热程度不同时变形程度不同,因此可以产生弯曲等致动变化,构成致动结构。在...
该专利属于福建师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过福建师范大学授权不得商用。
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