下载一种定值三元混合标准气体的制作系统及方法的技术资料

文档序号:24086135

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本发明实施例公开了一种定值三元混合标准气体的制作系统,包括定比例气体输送单元,混气单元和将所述中间气体在定温密封环境下进行体积和气体压力的标定以获得目标气体,并将目标气体在预设定的气体压力下动态输出的混合器,及制作方法,包括将组分气和载气按...
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