下载一种基于加窗傅里叶变换的位移场层析测量装置及方法的技术资料

文档序号:24085529

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本发明公开一种基于加窗傅里叶变换的干涉测量装置和方法。其装置为一具有波长空间调制能力的迈克尔逊干涉测量仪,包括了宽带光源(1)、准直透镜(2)、柱面镜(3)、狭缝(4)、准直透镜(5)、分光棱镜(6)、物镜(7)、参考平面(8)、物镜(9)...
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