下载一种压力传感器的技术资料

文档序号:24084527

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本发明公开了一种压力传感器,设置有与敏感膜片相接触的至少两组压阻条组,其中每个压阻条组均包括有四个压阻条。上述压阻条均可以通过引线与基板表面的引线电极电连接,从而使得每一个压阻条组均可以构成一个惠斯通电桥。在压力传感器中设置多个由压阻条组所...
该专利属于中科院微电子研究所昆山分所所有,仅供学习研究参考,未经过中科院微电子研究所昆山分所授权不得商用。

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